HYKS-1000/300 SF6 gasvakuumpumpeanordning

Denne vakuumpumpe er en direkte-koblet vakuumpumpe med roterende vinge. Den består af en rotor monteret inde i statorkammeret og to skovle, der glider inden i rotorslidserne. Presset fast mod cylindervæggen af ​​fjederkraft og centrifugalkraft adskiller de to skovle det indre rum i indsugnings- og udstødningssider. Da rotoren roterer kontinuerligt i en fast retning, udvider indløbs-sidekammeret cyklisk for at trække gas ind, mens udstødnings-sidekammeret gradvist trækker sig sammen for at komprimere den indsugte-gas. Den komprimerede gas udstødes derefter gennem udstødningsventilen, hvorved gasevakueringsformålet opnås. Denne pumpe anvender en to-struktur. Når indgangstrykket er relativt højt, udleder begge trin gas ud af pumpekammeret samtidigt. Når indgangstrykket er lavt, kommer gas ind i højtrykstrinnet gennem indløbet, strømmer ind i lavtrykstrinnet via luftpassagen mellem trin-efter primær kompression og udledes til sidst gennem udstødningsventilen efter sekundær kompression. Af denne grund kan den levere et højere ultimativt vakuum end enkelt{16}}entrinspumper.